潔凈車間的溫濕度對(duì)生產(chǎn)有至關(guān)重要的作用，如果相對(duì)濕度控制車間不好，就有可能使房間整體性能退化，也會(huì)帶來(lái)一系列的影響。

1. 細(xì)菌生長(zhǎng)。細(xì)菌和其他生物污染物(真菌、病毒、真菌、螨蟲)在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍的繁殖。有些菌落在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)生長(zhǎng)。當(dāng)相對(duì)濕度在40% ~ 60%之間時(shí)，細(xì)菌和呼吸道感染的影響最小，因此潔凈室的相對(duì)濕度應(yīng)控制在一定范圍內(nèi)。

2. 潔凈車間員工感到室溫舒適范圍。濕度范圍在40%到60%之間，這也是人類舒適的適度范圍。如果潔凈車間的濕度太高，人們會(huì)感到窒息。如果濕度小于30%，人們會(huì)感到皮膚干燥、開裂、呼吸不適和情緒不適，這將影響他們的工作。

3. 清潔車間相對(duì)濕度控制不佳，會(huì)產(chǎn)生靜電。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電會(huì)迅速消散，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，靜電會(huì)長(zhǎng)期存在于絕緣體或不接地表面。潔凈車間相對(duì)濕度在35% ~ 40%之間是一個(gè)合適的范圍。半導(dǎo)體凈化室通常使用額外的控制來(lái)限制靜電積聚。

4. 如果潔凈車間的相對(duì)濕度控制不好，很容易造成潔凈車間的金屬腐蝕。許多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕，會(huì)隨著相對(duì)濕度的增加而增加。所有暴露在潔凈室周圍空氣的表面會(huì)很快被至少一層水覆蓋。當(dāng)這些表面由能夠與水反應(yīng)的薄金屬涂層形成時(shí)，高濕度會(huì)加速反應(yīng)。一些金屬，如鋁，可以與水形成一種保護(hù)氧化物，以防止進(jìn)一步氧化。另一些金屬，如氧化銅，則沒有保護(hù)作用。

5.在相對(duì)濕度較高的潔凈室內(nèi)環(huán)境中，高濃度的毛細(xì)力在顆粒與表面之間形成粘結(jié)，增加了顆粒與硅表面之間的粘結(jié)力。當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)，這種稱為開爾文濃度的效應(yīng)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，它就成為顆粒間粘連的主要力量。